六氯乙硅烷
英文名 | Hexachlorodisilane | ||
CAS号 | 13465-77-5 | 分子量 | 268.87 |
分子式 | Cl6Si2 | 货号 | FN0055 |
保存条件 | 钢瓶密封储存 | ||
产品分类 | ALD源 |
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