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N,N,N',N',N'',N'',N''',N'''-八乙基-硅烷四胺

英文名	Tetrakis(diethylamino)silane
CAS号	17048-10-1	分子量	316.6
分子式	C₁₆H₄₀N₄Si	货号	602090
产品分类	ALD源

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