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BDMADMS

英文名 BDMADMS: [N(CH3)2]2(CH3)2Si
别名 双(二甲基氨基)二甲基硅烷; 六甲基硅二胺
CAS号 3768-58-9 分子量 146.31
分子式 C6H18N2Si 货号 FN0076
产品分类 ALD源
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