BDMADMS
英文名 | BDMADMS: [N(CH3)2]2(CH3)2Si | ||
别名 | 双(二甲基氨基)二甲基硅烷; 六甲基硅二胺 | ||
CAS号 | 3768-58-9 | 分子量 | 146.31 |
分子式 | C6H18N2Si | 货号 | FN0076 |
产品分类 | ALD源 |
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