三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III)
| 英文名 | Tris[N,N-bis(trimethylsilyl)amide]yttrium(III) | ||
| CAS号 | 41836-28-6 | 分子量 | 570.06 |
| 分子式 | C18H54N3Si6Y | 货号 | 601836 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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