四(乙基甲基胺基)钛(IV)
| 英文名 | TEMAT: Tetrakis(ethylmethylamino)titanium | ||
| CAS号 | 308103-54-0 | 分子量 | 280.28 |
| 分子式 | C12H32N4Ti | 货号 | x2-026 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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