三甲基铝溶液(1号)
英文名 | Trimethylaluminium solution | ||
别名 | TMA | ||
CAS号 | 75-24-1 | 分子量 | 72.09 |
分子式 | C3H9Al | 货号 | 601940 |
产品分类 | ALD源 |
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