双(二乙基氨基)硅烷
| 英文名 | Bis(diethylamino)silane | ||
| CAS号 | 27804-64-4 | 分子量 | 174.36 |
| 分子式 | C8H22N2Si | 货号 | FN0050 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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