N,N',N'',N'''-四乙基-N,N',N'',N'''-四甲基硅烷四胺
英文名 | Tetrakis(ethylmethylamino)silane | ||
别名 | 四(甲基(乙基)氨基)硅烷 | ||
CAS号 | 477284-75-6 | 分子量 | 260.49 |
分子式 | C12H32N4Si | 货号 | 602089 |
产品分类 | ALD源 |
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