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N,N',N'',N'''-四乙基-N,N',N'',N'''-四甲基硅烷四胺

英文名 Tetrakis(ethylmethylamino)silane
别名 四(甲基(乙基)氨基)硅烷
CAS号 477284-75-6 分子量 260.49
分子式 C12H32N4Si 货号 602089
产品分类 ALD源
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