四(二甲基氨基)硅烷
| 英文名 | Tetrakis(dimethylamino)silane | ||
| 别名 | 四(二甲基氨基)硅烷;1-(4-氟苯基)双胍盐酸盐;四(二甲基氨基)硅烷,99;八甲基硅烷四胺;四(二甲基氨)硅烷;四(二甲基氨基)硅;四(二甲氨基)硅烷;四(二甲基氨基)硅烷,99% | ||
| CAS号 | 1624-01-7 | 分子量 | 204.39 |
| 分子式 | C8H24N4Si | 货号 | 601979 |
| 产品分类 | ALD源 | ||
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