叔丁基亚胺基三(二乙胺基)铌
英文名 | (tert-Butylimino)tris(diethylamino)niobium | ||
别名 | 叔丁基亚胺基三(二乙氨基)铌 | ||
CAS号 | 210363-27-2 | 分子量 | 380.41 |
分子式 | C16H39N4Nb | 货号 | 601869 |
产品分类 | ALD源 |
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